Topografii de produse semiconductoare

Topografie a unui produs semiconductor – o serie de imagini legate între ele, indiferent de modalitatea în care acestea sunt fixate sau codate, reprezentând configuraţia tridimensională a straturilor care compun un produs semiconductor şi în care fiecare imagine reproduce desenul sau o parte din desenul unei suprafeţe a produsului semiconductor, în orice stadiu al fabricaţiei sale.